Chất nền wafer/ sapphire sapphire

Sapphire thuộc nhóm khoáng sản Corundum. Nó là một tinh thể oxit phối hợp phổ biến. Nó thuộc về hệ thống tinh thể lượng giác. Nhóm không gian pha lê là R3C. Thành phần hóa học chính là AI2O3. Vật liệu có độ cứng chế độ lên đến 9, chỉ đứng sau kim cương. Sapphire có độ ổn định hóa học tốt, chi phí chuẩn bị thấp và công nghệ trưởng thành, do đó, nó đã trở thành vật liệu cơ chất chính của các thiết bị quang điện tử dựa trên GAN. Ngoài ra, nó có tính chất điện môi và cơ học tốt, và được sử dụng rộng rãi trong màn hình bảng phẳng, các thiết bị trạng thái rắn hiệu quả cao, ánh sáng quang điện và các trường khác. Chất nền silicon cũng được sử dụng rộng rãi làm vật liệu cơ chất. Bề mặt silicon được sắp xếp theo hình lục giác và độ dốc nhiệt độ thẳng đứng lớn, có lợi cho sự tăng trưởng ổn định của các tinh thể đơn và được sử dụng rộng rãi. Tuy nhiên, khó khăn kỹ thuật lớn nhất trong việc chế tạo đèn LED dựa trên GAN trên chất nền silicon là không phù hợp với mạng và sự không phù hợp về nhiệt. Sự không khớp mạng giữa silicon và gallium nitride nhiều lần so với silicon nitride, có thể gây ra vấn đề nứt.

Trường bán dẫn thường sử dụng SIC làm vật liệu chìm. Độ dẫn nhiệt của silicon nitride cao hơn so với sapphire. Nó dễ làm tan nhiệt hơn so với sapphire và có khả năng chống chủ nghĩa tốt hơn. Tuy nhiên, chi phí của nitride silicon cao hơn nhiều so với Sapphire và chi phí sản xuất thương mại cao. Mặc dù các chất nền nitride silicon cũng có thể được công nghiệp hóa, chúng rất tốn kém và không có ứng dụng phổ quát. Các vật liệu chìm khác như GaN, ZnO, v.v. vẫn đang trong giai đoạn nghiên cứu và phát triển, và vẫn còn một chặng đường dài để đi từ công nghiệp hóa.

Khi chọn chất nền, cần phải xem xét sự phù hợp của vật liệu cơ chất và vật liệu epiticular. Mật độ khiếm khuyết của chất nền được yêu cầu thấp, tính chất hóa học ổn định, nhiệt độ nhỏ, không dễ bị ăn mòn và nó không thể phản ứng hóa học với màng epiticular và xem xét tình huống thực tế. Chi phí sản xuất trong sản xuất. Chất nền sapphire có độ ổn định hóa học tốt, điện trở nhiệt độ cao, cường độ cơ học cao, tản nhiệt tốt trong điều kiện hiện tại nhỏ, không hấp thụ ánh sáng, giá vừa phải, công nghệ sản xuất trưởng thành và có thể được thương mại hóa.

Áp dụng chất nền sapphire trong trường SOS